本公司以前就从事超导电线的销售，并开发其应用产品。
其中之一就是同步加速器放射光（以下称为SR）发生装置。
80年代中期，水银灯在LSI生产上用作微影技术光源。但配线宽度在0.2微米以下需要波长更短的光，从而更加期待X光的SR。因此，本公司也开发了SR发生装置，但后来激光等其他光源代替水银灯，就没有得到应用的机会。可是，我们认为如果生产有特点的光、应该可以用于产业。基于这一想法，我们就开始研究应用产品。

当时，在美国有通过半导体工序生产100μｍ左右的小齿轮投入使用等，微型机器的热潮已经兴起。因此，我们注意到了微细加工技术，并进行了调查。此时，得知德国正在开发使用SR的微细加工技术（※LIGA工序）。但还不知道究竟能够应用于何种产业、会不会给公司带来利润，因此非常烦恼。此时上司却说：“趋向于细微化的技术方向是正确的，所以先不要考虑最终产品。你现在还在初级阶段，先试着挑战一下吧。”我们一下子心情轻松起来，就开始着手开发。

本公司独立发展LIGA工序而成的AccurForiming，如右页图所示，是类似微影技术的半导体工序、电镀、铸型等各种技术的组合。我们有效利用本公司拥有多项技术的优势，首先打游击似的投身于各种研究小组，从请教技术开始着手。

　不久，从92年起，名为“微型机器技术的研究开发”的国家项目（以下简称为国家项目）正式起动。

　面向该项目提出的AccurForming被采纳，研究开发经费终于得到了保证，我们就决定正式进行开发。

※LIGA工序
意为微影技术、电镀、铸型的德语。由Lithographie Galvanofomung Abformung的首写字母命名而来。

　参与国家项目首先面对的，是被称为“水下密封舱”的、搭载于自动检查管道内部的微型机器上的部件开发。基于水下密封舱和外部之间通过声波进行通信这一目的，我们提出方案：把施加电压即可振动的陶瓷制作为20微米角的极细的柱子，并把许多这种柱子搭载于树脂中的超声波传感器。

　本公司当时已对陶瓷产品方面有经验，因此认为在开发AccurForming时把陶瓷与这种材料技术相融合即可建立独特技术，从而提出了这样的方案。

　但是，当时陶瓷的机械加工的极限是100微米左右，提交方案后，有关人员认为“这样是不可能实现的”。

　当时，我们不理解为什么有人会认为无法实现，但在实际开发过程中明白了这句话的意思，开发确实非常艰苦。但是，尽管很艰苦，我们还是尽量想办法找出了解决方案，终于达成了目标。该技术是本公司独有技术，获得了市村产业奖等多项奖项。

　我们深切地感受到，挑战大家都认为困难的事情也是很重要的。之后，从销售医疗用超声波诊断装置的公司发来了采用产品的函询，从而开始量产，97年开始发送样品，当前已经投入为批量化产品。