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SEI WORLD 2014年1月号(vol.436)
在国际会议“The 18th MICROOPTICS CONFERENCE(MOC’13)”上荣获了“Paper Award”。
获奖论文“Single-Stripe Tunable Laser with Chirped Sampled Gratings Fabricated by Nanoimprint Lithography”阐述了在用于新的高速、大容量通信方式——相干传输中的可变波长激光上,在世界上首次运用纳米打印法※,并实验验证了该制作技术的可用性。这次获奖是因为论文内容说明了作为半导体设备微细加工技术的纳米打印技术具有出色的量产性,得到了好评。
今后我们将继续开展技术开发,提高量产技术的可能性。
※将模子放在基板上,复印极微细图案的技术
传送设备研究所、住友电工Device•Innovation株式会社